用光学技术探测MEMS的性能

摘要：

@@ 一种基于光压和干涉的激励/探测方法可表征微电机械系统(MEMS)万向反射镜阵列的特性.这种全光技术除能精确地完成非接触式的工艺监控,也使远距离操作微光电机械系统成为可能.

机标关键词：mems、光学技术

分类号：TP212;TP334.2;TN405

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：18-18