紫外激光微细加工的优势

摘要：

@@ 二极管泵浦的Q开关固体激光器现已广泛应用于加工业,如半导体电子器件、印刷电路板、陶瓷和塑料等器件的加工.激光器在工业加工中应用范围之广意味着激光器制造商必须根据波长、功率、重复率、脉冲宽度、峰值功率扩大其产品生产的范围.目前在加工领域,激光器的研究和开发主要集中在两个方面:(1)实现较高重复率(数千赫兹);2.提高波长266nm激光的性能.

机标关键词：激光微细加工、紫外激光

分类号：TN249;TG665;O435

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：8-10