光纤点衍射干涉仪调整方法与条纹分析

摘要：

随着对高精度光学元件的需求不断增加,对光学检测精度的要求也随之提高,合理可行的检测方法对光学加工的发展至关重要.本文在已建立好的点衍射干涉仪的基础上,对仪器的调整进行分析,提出合理的调整方案,得出被检波面面形的干涉图.该干涉仪由光纤直接提供高精度的参考波面,与被检波波面发生干涉.其特点是结构简单合理、易于调整耦合输出、条纹记录迅速、受外界环境影响较低、引入误差较小,有利于进一步的拟合分析.

机标关键词：光纤点衍射、条纹分析、调整方法、光学检测、光学加工、波面面形、光学元件、检测精度、环境影响、拟合分析

分类号：TH74(仪器、仪表)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30