目标软件迎接MEMS设计的挑战

摘要：

@@ 在开发各种光学微机电系统(MEMS)的竞争中,恰当选择专门为MEMS设计而开发的软件工具能极大地获益,如节省时间、扩大市场、降低开发费用和降低风险等.光学MEMS可用标准的计算机辅助机械设计(MCAD)方法或者用电子设计自动化(EDA)工具进行设计,但MEMS的特殊性,诸如多物理范畴、加工工艺和标定等对当今现有技术提出了严峻的挑战.所以,支持自顶向下设计的软件在快速、精确地MEMS开发中会起关键作用.

机标关键词：mems设计、目标软件

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：23-24