10.3969/j.issn.1007-1180.2002.08.002
硅光栅技术
制作硅光栅的微细加工工艺可分为体硅工艺和面硅工艺,这些微细加工方法在技术上与微电子及微机械工艺可以兼容,这使得制作集成式微型光谱仪成为可能.硅是一种良好的近红外材料,可以用来制作天文红外光谱仪器的浸没光栅.本文重点介绍了硅光栅的制作工艺及其在不同领域中的应用.
微细加工工艺、微型光谱仪、微机械工艺、红外光谱仪、制作工艺、加工方法、近红外、红外材料、光谱仪器、体硅工艺
TN94
2006-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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