适应性强效率高的激光器将扩展它们在微细加工中的作用

摘要：

@@ 蜂窝电话、计算机、扩展器、小卫星、灵敏像元卡、ID标记,这些无一不包含有微型组件.预计在今后几年中,消费者将花费数10亿美元购买这些装置.这些装置是否会使我们的生活变得更加美好,这一争论将会继续下去,但可以肯定地说它们对我们是非常有用的.随着微系统加工技术的普及,对微细加工设备的需求也会成比率地增加.在这个高经济利润的大气候条件下,加工技术正在快速地发展以满足各种新应用的要求.

机标关键词：激光器、微细加工、适应性强、效率高

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19