激光微细加工:新的发展与应用

摘要：

准分子激光微细加工已成为一种成熟的加工技术,在工业中有着广泛的应用,如喷墨打印机喷嘴的钻孔、传感器的生产和显示板的加工等.本文描述了准分子激光加工系统的重要概念,给出了在微细加工领域中已被开发出来的各种新方法.重点描述了用于加工复杂的、多层次三维微细结构的各种加工技术,并用加工出来的结构实例说明了它们的相关应用.此外,还给出了用亚纳秒固体纤维激光器进行微细加工获得的初步结果.最后叙述了用超短脉冲激光器进行激光微细加工这个快速增长的技术领域.

机标关键词：新的发展、超短脉冲激光器、准分子激光加工、激光加工系统、喷墨打印机、加工技术、重要概念、微细结构、技术领域、多层次

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：8-16