10.3969/j.issn.1007-1180.2001.02.004
准分子激光器透镜用的新型玻璃
@@ 日本东京消息:Asahi玻璃有限公司最近研制出一种F2准分子激光器使用的透镜系统玻璃材料.众所周知,准分子激光器是下一代半导体光刻设备的侯选光源,列居其他光源之首.
准分子激光器
TN248;TP273;O435
2006-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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准分子激光器
TN248;TP273;O435
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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