长波长软X射线多层膜的设计与制备

摘要：

@@ "长波长软X射线多层膜的设计与制备"这篇论文介绍了用离子束溅射法制备长波长软X射线多层膜的研究工作,并报道了一种新的材料组合C/Si用于28.4 nm(43.65 eV)和30.4 nm(40.78 eV)波段的多层膜反射镜,并且用离子束溅射装置制备了正入射条件下的C/Si多层膜反射镜.同时,用软X射线反射计测量了样品的反射率,从实验结果看出,制备的多层膜样品在28.4 nm和30.4 nm波段附近的实测正入射反射率分别达到11.4%和14.3%,实验指标达到了国内领先水平,并接近了国际水平.

机标关键词：软x射线多层膜、设计与制备、长波长

所属期刊栏目：17

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：10-11