四氢化硅的健康危害和检测方法的研究进展
四氢化硅是一种常见的工业原料,是一种提供硅组分的重要气体源,可用于制造高纯度单晶硅、多晶硅、异质硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅等各种硅化物.四氢化硅在临界温度256℃)和极高的压力下(96和120 GPa)可作为超导体使用[1].由于四氢化硅的高纯度和能实现精细控制,已经成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体[2-3].四氢化硅的主要毒性是刺激作用,有研究显示它可对皮肤、眼睛和呼吸道产生强烈刺激作用,造成对作业人员的健康危害[4-5],因此,需要评价工作场所空气中四氢化硅的水平和采取措施保护作业者的健康.本文就四氢化硅的理化性质、毒性及健康危害和检测方法的研究进展进行了综述.
氢化硅、健康危害、刺激作用、高纯度、作业人员、特种气体、临界温度、理化性质、精细控制、检测方法、工作场所、工业原料、毒性、保护作业、氧化硅、微晶硅、气体源、呼吸道、硅组分、硅化物
34
R134(劳动卫生)
卫生部标准研制项目2010-03-07
2012-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
58-60
