双光子光聚合与功能微纳结构制备

摘要：

随着纳米光电子学及生物医学组织工程领域的发展,器件的小型化、结构多样化及高度集成化,给微纳结构与器件制造领域带来了新的挑战.本文围绕飞秒激光双光子聚合技术,简要综述了双光子光聚合基本原理与双光子引发剂分子的研究进展,并对飞秒激光双光子聚合技术在功能微纳结构与器件制备中的应用及发展前景进行了展望.

关键词：飞秒激光、双光子光聚合、引发剂、功能微纳结构

所属期刊栏目：35

分类号：O62;O43

资助基金：国家自然科学基金项目91323301,91123032,61475164;国家重点基础研究发展规划973项目2010CB934103;国家重点研发计划项目2016YFA0200501,2016YFC1100502

在线出版日期：2017-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共16页

页码：413-428