含重氮萘醌化合物翻转成像体系的研究概述

摘要：

本文对含重氮萘醌化合物的翻转成像体系作了详细的总结.所述翻转成像体系主要分为三类,其一主要是通过脱羧反应、酯化反应、酰胺化反应等化学反应生成碱难溶性化合物,使原本通过曝光、显影可获得的阳图图像翻转成负像;其二是以重氮萘醌化合物为产酸剂,通过酸的催化作用使交联剂与成膜树脂发生交联反应,或发生脱保护基的反应,实现翻转成像;还有一类是利用近紫外光和高能射线相结合实现翻转成像.第一类和第三类翻转成像体系在抗蚀剂方面可能有较大的应用价值,而第二类翻转成像体系可能在印刷版材方面有一定的应用前景.

关键词：重氮萘醌化合物、翻转成像、抗蚀剂、印刷版材

所属期刊栏目：25

分类号：TQ57

在线出版日期：2007-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：387-395