10.3969/j.issn.1674-0475.2007.05.006
甲基丙烯酸(2-烷基-2-金刚烷)酯的合成及水解研究
甲基丙烯酸(2-甲基-2-金刚烷)酯和甲基丙烯酸(2-乙基-2-金刚烷)酯是两个重要的193 nm光刻胶主体树脂的单体.两个化合物是由2-金刚酮与碘甲烷、碘乙烷的格氏试剂反应得到2-甲基-2-金刚醇、2-乙基-2-金刚醇,然后在氢化钠的作用下与甲基丙烯酰氯发生酯化反应制得.酯化产率50%-60%.产品结构经1HNMR、IR、MS和元素分析表征.在对甲基苯磺酸-水合物的催化作用下对两个单体进行了水解测试,探讨了水解机理,计算出水解速率常数k,k值分别为-1.52和-3.90.
193nm光刻胶、甲基丙烯酸(2-烷基-2-金刚烷)酯、2-金刚酮、水解
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O64(物理化学(理论化学)、化学物理学)
2007-11-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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