一种新型深紫外正型光致抗蚀剂材料的研究

摘要：

通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸--丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加热条件下(80℃以上)发生反应,产物在稀碱水中难溶.这样形成的产物在光产酸剂产生的强酸催化下,在温度高于100℃时,可以迅速分解,从而变成稀碱水易溶.因此,用此二酸、二乙烯基醚和产酸剂可组成一种正型的光致抗蚀剂,当用254 nm的低压汞灯曝光时,其感度在30 mJ/cm2以下.

关键词：正型光致抗蚀剂、二乙烯基醚、丙烯海松酸、光产酸剂

所属期刊栏目：24

分类号：O6(化学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA3Z1330-2

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：377-381