10.3969/j.issn.1674-0475.2004.01.006
酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂溶解抑制机理
本文综述了酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂的溶解抑制机理,主要包括(1)分子间氢键作用机理;(2)偶联反应机理;(3)两步即静态、动态溶解抑制机理;(4)表面沉积溶解抑制机理;(5)酚醛树脂的分子溶解及相关的抑制机理.
酚醛树脂、重氮萘醌、正性抗蚀剂、溶解抑制
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TQ57
2004-03-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共11页
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酚醛树脂、重氮萘醌、正性抗蚀剂、溶解抑制
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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