酸增殖剂研究进展

摘要：

本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍.并对它们的应用前景、现存问题和改进方向进行了简单讨论和介绍.

关键词：化学增幅抗蚀剂、酸增殖剂、光致抗蚀剂、感度

所属期刊栏目：21

分类号：TQ57

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA3Z1330

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：296-302