含氧膦结构的可溶性感光聚酰亚胺合成与表征

摘要：

@@ 聚酰亚胺(PI)是一类综合性能优异的功能性材料,广泛应用于航天、航空及电子工业等领域[1].感光聚酰亚胺可以采用光刻工艺,大大简化了其应用加工程序[2,3],因而备受人们所青睐.含查尔酮结构的聚合物对UV辐射敏感度高和化学稳定性好,最近被广泛的研究和应用[4-7].主链含查尔酮结构的感光聚酰亚胺(PSPI)具有较高的灵敏度,制得的图形分辨率高,膜损失率低,在电子器件的微细化发展中具有广泛的应用前景[8].但此类聚酰亚胺在电子器件的基质上的附着力差,同时聚合物的热稳定性能也受到感光基团的影响而降低.

关键词：聚酰亚胺、氧膦、查尔酮、合成、光敏性

分类号：O6(化学)

资助基金：催化材料科学湖北省重点实验室基金CHCL0502

在线出版日期：2006-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：545-548