PDMS微流体系统的加工制作

摘要：

目前,微流体装置越来越多地应用到分析系统、生物医学、化学等基础研究领域.传统的微流体系统制作方法是对玻璃和硅片进行刻蚀.用软刻法制作PDMS(Poly(dimethylsiloxane):聚二甲基硅氧烷)微流体装置比传统的制作方法更快速,成本更低廉,并且对于通道的密封也不需要玻璃或硅芯片键合密封等复杂工艺.这类软刻法的核心技术是快速原样制作法和复制压模技术.相对于微电子加工工艺,软刻法制作过程不需要超静环境,化学家和生物学家可在普通的实验室实现加工制作.本文介绍了PDMS微装置在分离和生物材料模式化等方面的应用.

关键词：微流体、快速原样制作、PDMS、综述

分类号：TN3;TH1

资助基金：国家自然科学基金39970202;重庆市科委资助项目6952

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：108-111