炉温对化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的影响

摘要：

采用SEM、EDX、XRD测试手段对沉积炉壁产物进行了分析,结果表明:低温区沉积的SiC涂层全为β-SiC;高温区SiC涂层中含有少量的游离态Si和α-SiC;高温区SiC颗粒的形核和生长速率大于低温区;所以温度是影响化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的主要因素.

关键词：炉温梯度、化学气相沉积、SiC涂层

所属期刊栏目：24

分类号：TB332(工程材料学)

资助基金：国家部委重点项目41312011002

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-26