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10.16136/j.joel.2021.09.0162

任意相干度圆孔成像系统对两物点分辨能力研究

引用
两点分辨的问题已进行过深入的研究,其中最著名的是Rayleigh和Sparrow判据.然而其通常仅适用于完全相干光或者完全非相干光两种极限状态,对于具有普遍性的部分相干光的情况却研究较少.本文设计了部分相干光照明圆孔成像系统,据此建立了两物点光强在像面分布数学模型,利用MATLAB对两物点像面光强分别在不同间距与任意相干度情况进行了模拟仿真,结果显示当两点间距一定,两物点分辨率随着两点光源间相干度的增加而减小,而当相干度一定时,两物点分辨率随着两点光源间距的增加而增加.本文同时采用像面间距与物面间距的比值以描述系统对两物点分辨能力,分析探讨了两物点恰能分辨,不能分辨,完全能分辨的三种情况,并给出任意相干度的圆孔成像系统一般分辨规律.同时设计了两物点在任意相干度的成像系统实验平台,实验结果表明两物点在此实验条件下间距为1.5 mm时恰能分辨,说明实验结果与理论模拟基本吻合.

分辨率;部分相干光;成像系统

32

O438.2(光学)

基础研究项目;陕西省重点实验室开放基金;总装先进制造资助项目

2021-12-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共7页

1000-1006

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光电子.激光

1005-0086

12-1182/O4

32

2021,32(9)

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