使用相干光照明的纹影成像装置进行相位测量的可行性研究

摘要：

通过数值仿真研究了利用相干光照明的纹影成像装置测量物体相位的可行性.仿真结果表明,将纹影装置的刀口水平放置,并对具有均匀相位或仅沿水平方向变化的非均匀相位的正方形物体成像时,在像面上,物体外部上下区域之间的光强差与物体相位的正弦成正比.此外,对于相位仅沿垂直于刀口方向变化的非均匀正方形物体,如果相位变化限制在[kπ/2,(k+1)π/2](k是整数)的范围内,则像面上物体外部上下区域之间的光强差表示面积加权的平均相位的正弦.对于其它形状的物体也发现了类似的结论.利用相干光照明的纹影成像装置可以获得物体相位的正弦,从而确定在[kπ/2,(k+1)π/2](k是整数)范围内的相位值.此外,还研究了刀口位置,被测物体尺寸和透射率对相位测量的影响.这表明相干光照明的纹影成像装置可以确定物体相位的正弦值,并在物体相位变化不大时提供半定量的相位测量.

关键词：相位检测方法;纹影成像技术;相干光照明

所属期刊栏目：32

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：天津市应用基础与先进技术研究计划;天津市应用基础与先进技术研究计划;中央高校基本科研业务费专项;国家重点实验室开放基金

在线出版日期：2021-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：935-944