Sn掺杂量对Sn-Al共掺ZnO薄膜光学性能的影响

摘要：

利用溶胶-凝胶(sol-gel)法在玻璃和硅衬底上制备了不同Sn掺杂量的Sn-Al共掺的ZnO薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)、光致发光谱(PL)等测试手段,对薄膜的结构、形貌和光学性能进行了表征.结果 表明:所制备的样品晶粒均沿(002)方向择优生长,且随着Sn元素掺杂量的增加,择优取向性先增强后减弱,同时薄膜的半高宽先减小后增大,半高宽最小时,薄膜的结晶质量最好.与只掺Al元素的ZnO薄膜相比,共掺后的薄膜近紫外发光峰的强度明显降低,出现了轻微的蓝移,且在600 nm处的缺陷发光强度明显增强;随着Sn掺杂量的增加薄膜的透过率先增加后减小.与AZO薄膜相比,当Sn的掺杂量为0.020时,薄膜的结晶质量更好,缺陷发光更强,光透过率更高.

关键词：溶胶-凝胶法、ZnO薄膜、Sn掺杂量、Sn-Al共掺薄膜、光学性能

所属期刊栏目：31

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：辽宁省教育厅科学研究基础研究项目“Ⅲ-Ⅴ族元素掺杂ZnO薄膜的制备及其光电性能研究”LJ2019006

在线出版日期：2020-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：156-160