Li掺杂量对Li-N共掺ZnO薄膜光学性能的影响

摘要：

本文利用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备了本征、N单掺和Li-N共掺的ZnO薄膜.研究Li掺杂量的改变对薄膜的晶体结构、表面形貌、透过性能和发光性能的影响.采用了紫外-可见分光光度计(UV-VIS)、光致发光谱(PL)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)等表征手段对样品进行了测试.结果 表明:Li掺杂量的改变对薄膜的结构和性能都有一定的影响,随着Li掺杂量的增加,(002)衍射峰强度增大,晶粒尺寸先增加后减小,紫外发射峰的强度和薄膜的透过性能同样是先增强后减弱.当Li元素的原子比为6 at％时,薄膜的c轴择优取向明显,结晶性能最好,薄膜紫外发光最强,透过率最大.

关键词：ZnO薄膜、溶胶-凝胶法、Li-N共掺、晶体结构、表面形貌、发光性能

所属期刊栏目：30

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：辽宁省教育厅科学研究基础项目“Ⅲ-Ⅴ族元素掺杂ZnO薄膜的制备及其光电性能研究LJ2019006

在线出版日期：2019-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：930-934