基于虚拟参考面的相位高度映射方法

摘要：

在相位测量轮廓术中,相位高度映射是通过对若干已知平面的高度和相位来完成系统标定.其中四平面法所需数据量最少,但是单向相位高度映射在进行高度重建时,相位差越接近于0,则重建高度误差越大.为此提出一种基于虚拟参考面的相位高度映射法,即通过在原四平面基础上增加一个预设高度的虚拟平面,再拟合得到其相位分布,进而计算出适合于整个标定空间的系数表a、b、c,从而显著提高物体三维重建精度.实验结果证明了该方法的可以有效地减小映射高度误差,测得单向相位高度映射法物体重建相对误差低于4.76×10-2 mm,虚拟参考平面相位高度映射法物体重建相对误差低于7×10-3mm,平面测量均差低于5×10-3 mm.

关键词：相位高度映射、虚拟平面、三维重建、相位测量轮廓术

所属期刊栏目：30

分类号：O438(光学)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项;国家自然科学基金

在线出版日期：2019-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：712-718