脉冲激光沉积Er∶LiNbO3薄膜及1.54μm光致发光的研究

摘要：

利用脉冲激光沉积(PLD)技术,通过双靶(Er3O2/LiNbO3)交替与脉冲激光作用,在SiO2/Si衬底上制备了c-轴择优取向的Er掺杂LiNbO3 (Er∶LiNbO3)薄膜.用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、台阶仪及光致发光(PL)光谱对制备的掺杂薄膜进行了表征.研究了衬底温度、O2压及沉积时间对Er∶LiNbO3薄膜结晶、表面形貌及PL性能的影响.结果发现,衬底温度低于300℃时制备的Er∶LiNbO3薄膜为非晶膜,随衬底温度升高,薄膜出现(006)衍射峰,并且其强度随衬底温度升高而增大;O2压变化对利用双靶沉积获得的Er∶LiNbO3薄膜择优取向及(006)衍射峰强度影响不明显;沉积时间越长Er∶LiNbO3薄膜中Er3+浓度越大,但结晶择优取向变差;利用532 nm波长激光泵浦,室温下,在1537 nm波长处测得很强的光致荧光峰,而且沉积时间越长谱峰越尖锐强度越大.

关键词：Er掺杂、LiNbO3薄膜、光致发光(PL)、脉冲激光沉积(PLD)

所属期刊栏目：29

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;山东省自然科学基金;山东省自然科学基金

在线出版日期：2018-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：143-147