柔性金属膜封装器件的水汽阻隔性能研究

摘要：

通过UV树脂和柔性金属薄膜将干燥片和透气绝缘的聚二甲基硅氧烷(PDMS)膜封装在器件中,利用钙(Ca)膜电学测试方法测定封装结构的水汽透过率(WVTR),研究了该封装方法的水汽阻隔性能.实验结果表明,Ca膜蒸镀时的温度调控极大影响Ca膜均匀性和表面形貌,从而影响器件的水汽透过率检测结果.本文提出的柔性金属封装方法具有良好的水汽阻隔性能,其WVTR在封装90 h后仍达到5×10-4 g/m2/day以下,水汽主要从器件周围的UV树脂渗透,与传统薄膜封装的水汽渗透机制有很大不同.

关键词：水汽透过率(WVTR)、薄膜封装、钙(Ca)电学法、有机光电器件

所属期刊栏目：29

分类号：TN38311;TN87313(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;福建省自然科学基金

在线出版日期：2018-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：118-122