衬底温度对Na-Mg共掺ZnO薄膜光学性能的影响

摘要：

采用超声喷雾热解法,以石英玻璃为衬底,以乙酸锌(Zn(CH3COO)2·2H2O)、硝酸镁(Mg(NO3)2·6H2O)和醋酸钠(CH3COONa· 3H2O)为前驱体溶液,在不同衬底温度(480～560℃)下制备Na-Mg共掺杂ZnO薄膜.通过X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、光致发光(PL)谱和紫外一可见(UV-Vis)分光光度计等表征手段对样品的晶格结构、表面形貌、PL性能和透过率进行了研究.结果表明,衬底温度对薄膜结构和光学特性影响显著,当衬底温度为500℃时制备的Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的f轴择优最明显,表面形貌更加致密,结晶质量最好,PL性能最佳.

关键词：超声喷雾热解法、ZnO薄膜、Na-Mg共掺、光学性能

所属期刊栏目：28

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：辽宁省教育厅科学研究L2015292

在线出版日期：2018-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1316-1319