光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究
实现了一种准分子激光光刻光源中心波长的实时测量方法.基于法布里珀罗(F-P)标准具与中阶梯光栅的相关测量装置,通过对F-P标准具的干涉条纹和光栅衍射条纹的分析,实现了对光刻光源输出激光中心波长的在线有效测量.整个测量装置体积小、成本低,在500~3 000 Hz高重频条件下,实现了亚pm量级的测量精度,标准差低于0.1 pm,取得了较好的实验结果.
准分子激光器、光刻、中心波长、在线测量
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TN247(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金;中国科学院光电研究院创新资助项目
2016-08-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
699-703