玻璃基交叉波导的损耗特性研究

摘要：

玻璃材料上的光波导是实现光电印制电路板(EOCB)中导光层制作的重要候选材料,交叉波导是EOCB上常用的集成光学结构,交叉损耗是其关键的参数之一.采用离子交换(IE)法和电场辅助离子迁移(FAIM)技术在玻璃基片上制作了宽分别为5、10、20、30和40μm的垂直交叉光波导,并对波导宽度对波导损耗的影响进行了研究.研究结果表明,玻璃交叉波导损耗对波导宽度有明显的依赖关系,当波导宽从40 μm减小到5μm时,交叉波导损耗从0.071 dB减小到0.019 dB.研究结果可为EOCB上波导交叉结构的优化提供了参考.

关键词：玻璃、离子交换(IE)、交叉波导、光互连

所属期刊栏目：26

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;浙江省自然科学基金;中兴通讯产学研合作资助项目

在线出版日期：2016-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：2251-2255