650nm波长低功耗聚合物可变光衰减器的研制

摘要：

为了有效改善基于无机材料的可变光衰减器(VOA)功耗大以及成本高的问题,设计并研制了一种基于有机聚合物材料的低功耗马赫-曾德尔干涉仪(MZI)型VOA器件.为保证器件的单模传输,优化了波导的结构和横截面尺寸,同时对加热电极的热场分布进行了模拟分析.最后,采用紫外光刻和湿法刻蚀等半导体工艺,制备出功耗较低、响应速度较快的VOA器件.在650nm工作波长下,测得器件的衰减为14.6 dB,驱动功率仅为12.3 mW,器件的上升时间为240 μs,下降时间为200 μs.实验结果表明,采用聚合物材料,并通过对器件的结构参数进行优化,可研制出工作在可见光波段的低功耗VOA器件.

关键词：集成光学、可变光衰减器(VOA)、热光效应、聚合物

所属期刊栏目：26

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;中国博士后科学基金;国家级大学生创新创业训练计划项目

在线出版日期：2016-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：2045-2049