基于光纤双波干涉的台阶高度在线高精度测量研究

摘要：

提出一种基于双波干涉的台阶高度光纤在线干涉测量系统.利用光纤光栅(FBG)只反射布拉格波长的特性,使两个波长同时并独立地工作于同一个光纤干涉测量系统中,每个波长的干涉信号分别并同时被探测,将测量量程扩大为半合成波波长.利用反馈电路补偿环境干扰对光纤干涉测量系统的影响,使光纤干涉测量系统适合于在线测量.本光纤干涉测量系统可测量的最大台阶高度达1 mm,测量分辨率小于1 nm.

关键词：光纤测量、干涉测量、台阶高度测量、在线测量

所属期刊栏目：25

分类号：TP212.14(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;北京市自然科学基金

在线出版日期：2014-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1749-1753