硅基槽型微环谐振器及其调谐特性研究

摘要：

仿真和实验研究了含槽型(slot)光波导的反馈波导型微环谐振器的特性,将槽型光波导集成到Si基微环谐振器中,丰富Si基光波导的功能,为新型光电子器件的实现提供途径.通过锥形波导结构实现从传统波导到槽型波导的模式转换,减小传输损耗,采用时域有限差分法(FDTD)研究了光功率的分布和模式转换过程.结果显示,光功率逐渐转移到锥形结构两侧的槽型波导中并最终形成槽型波导中的传输模式,通过优化锥形结构能实现较高的模式转换效率,可以达到90％以上.采用电子束刻写技术和等离子刻蚀技术制备了反馈波导型槽型微环谐振器.实验显示,锥形波导能够实现模式的转换,光传输过程良好.通过在槽型波导中填充电光聚合物来改变槽型光波导的折射率,测量结果显示,传输谱谐振峰发生了明显移动,移动幅度达到5.6 nm,器件具备很好的可调谐性.

关键词：Si基、槽型波导、传输谱、锥形、可调谐性

所属期刊栏目：25

分类号：TN256;TN252(光电子技术、激光技术)

资助基金：教育部留学回国人员科研启动基金2013-693

在线出版日期：2014-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1668-1672