用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜

摘要：

Fe-Ⅸ/Ⅹ(λ＝17.1 nm)和He-Ⅱ(λ＝30.4 nm)是太阳辐射的两条重要谱线,极紫外(EUV)空间太阳望远镜通常选择这两条谱线对日冕进行观测.为了实现在同一块反射镜对上述两条谱线同时具有较高的反射率,设计了多层膜膜系结构.首先根据极紫外波段选材原则选择了Si、B4C和Mo 3种材料,构成B4 C/Si和Mo/Si叠加的两种周期结构,优化其周期数、膜层厚度等,计算了反射率曲线,并从理论验证了其可行性;然后利用磁控溅射镀膜机,在Si片上镀制了多层膜;最后用激光等离子体反射率计检测了样片的反射率,结果显示,在波长17.1 nm和30.4 nm处的反射率分别达到19.9％和20.2％.通过选择不同滤光片,如Mg、Al/Zr滤光片,可以获得17.1 nm或30.4 nm单一谱线的反射,实现了设计目标.

关键词：极紫外(EUV)、双波段多层膜、太阳望远镜、反射率、磁控溅射

所属期刊栏目：25

分类号：O434.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金60478035

在线出版日期：2014-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1298-1302