微纳米PIN电光调制器的优化

摘要：

在微纳米PIN电光调制器的基础上,分析了载流子浓度对其调制特性的影响.根据注入调制区载流子平均浓度随时间变化关系,采用在驱动信号中加入正反向预加重电压的调制电压方式,不仅可以提高注入载流子浓度,而且可以缩短反向抽取载流子所用的时间,从而有效提高电光调制器的调制速度;详细分析了PIN电光调制器结构中内脊高度H、外脊高度h,波导脊宽W以及重掺杂区到波导的距离Ws等参数对其调制特性的影响;最终根据数据的分析,给出了优化后的参数,制作了电光调制器并进行了测试,测试结果验证了文中数据分析的正确性.

关键词：光电器件、电光调制器、PIN结构、载流子浓度

所属期刊栏目：25

分类号：TN256;TN252(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-06-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：870-875