主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作

摘要：

用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻工艺实现了一种主光轴平行于基底的微透镜阵列.首先对微透镜形成过程中的PDMS薄膜受力和变形情况进行了分析,并采用有限元分析方法对不同压力、不同厚度的薄膜变形情况进行了模拟,确定了合理的微透镜腔体结构;然后利用SU-8负模制作了PDMS微透镜腔体,将腔体与盖片进行了密闭封装,通过一定的压力向其注入紫外固化光学胶成型了微透镜阵列;最后使用自制装置对微透镜阵列的聚焦效果进行了测试.结果表明,提出的制作方法简单易行、成本低廉和焦距可控,而且易与其它的微系统集成到同一芯片.

关键词：微透镜阵列、薄膜形变、有限元分析、芯片键合、聚焦测试

所属期刊栏目：25

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2014-06-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：864-869