聚合物/SiO2混合波导2×2热光开关的制备与测试
利用聚合物材料SU-8作为芯层、聚合物材料PMMA作为上包层、无机材料SiO2作为下包层,设计并制备了一种有机/无机混合波导2×2定向耦合-马赫曾德尔(DC-MZI)热光开关.为了保证波导中的单模传输、减小模式辐射和衬底泄露损耗、缩短响应时间并降低器件功耗,对其结构参数做了优化.利用涂膜、湿法刻蚀等工艺制备了器件样品.在1 550 nm波长下,器件的交叉态和直通态的驱动功率分别为0和7.8 mW(开关功率为7.8 mW),交叉态和直通态的两端口串扰分别为-9 dB和-12.8 dB.在方波驱动电压信号作用下,测得器件交叉端口的上升时间和下降时间分别为138 μs和136μs,直通端口的上升时间和下降时间分别为63μs和140 μs.制备的混合结构器件综合利用了芯层聚合物材料热光系数大、上/下缓冲层厚度均较小以及Si/SiO2导热系数大的优点,因此同时具备了较低的功耗和较快的响应时间,在低功耗、快速光通信系统中具有较好的应用前景.
集成光电子器件、平面光波导器件、热光开关、聚合物
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TN256(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金61177027,61077041,61107021;国家教育部博士点基金20110061120052,20120061130008;中国博士后科学基金20110491299,2012T50297;吉林省科技发展计划20110315,20130522161JH;吉林大学基本科研业务基金201103076
2014-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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