基于激光回馈效应的纳米计量系统

摘要：

提出了一种基于激光多重回馈效应的纳米计量系统,系统采用非准直平凹回馈外腔结构,使在回馈外腔中往返多次的回馈光束返回到激光谐振腔中,形成高阶回馈效应,得到了高密度、类正弦和位相正交的双频激光回馈条纹.条纹的密度为传统弱回馈的几×10倍,而且回馈条纹以激光波长为尺子,具有可溯源性,在没有任何电细分的条件下达到了nm级的光学分辨率.特别地,通过采用双折射双频激光器,获得了两偏振正交的激光回馈条纹,而且两正交偏振回馈条纹间还具有位相差,位相差的大小主要由双频激光器的频差、外腔长以及回馈阶次决定.利用两正交偏振回馈条纹间的位相关系,可用于识别物体的运动方向.与激光干涉仪的比对实验表明,系统的线性度优于5.2×10-5,光学分辨率为10.2 nm,量程大于500 μm.

关键词：纳米计量、溯源性、激光回馈、多重回馈

所属期刊栏目：25

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金仪器专项60827006;国家自然科学基金51375262

在线出版日期：2014-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：508-513