二维位移测量中激光漂移实时补偿方法研究

摘要：

激光漂移是影响二维位移测量精度的主要因素之一.为了消除激光光源漂移对二维位移测量结果的影响,提出了一种双光路激光漂移实时补偿的方法.在二维位移测量系统中,根据测量光路结构工作机理建立了激光光源平漂和角漂对位移测量产生误差的模型,通过参考光路监测激光的漂移量,并利用误差模型将漂移量经过转换后补偿到测量结果中.理论分析表明,本文方法能够实现对平漂和角漂的完全补偿.分析了实际光路布置中的结构参数误差对补偿效果的影响,基于此选择光路的结构参数.实验结果显示,使用双路激光漂移补偿方法后,可以使8h内的X方向和Y方向的漂移量分别减少55.1％和73.3％.

关键词：激光漂移、角锥棱镜、二维位移测量、位置敏感检测器(PSD)、实时补偿

所属期刊栏目：25

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金51075096;黑龙江省留学回国人员基金LC201038/40000045-6-10400-1

在线出版日期：2014-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：299-304