用于真空在线测量的离轴非球面结构反射差分光谱仪设计与实现

摘要：

基于旋转补偿器的反射差分光谱(RC-RDS)技术是具有亚单层光学灵敏度的高精度表面表征方法,其全光谱快速测量性能,特别适合在线检测.为满足真空在线测量的应用需求,综合考虑使用空间、工作距离、光束直径、光谱宽度和通光率等限制因素,提出了基于离轴抛物(OAP)反射镜的光学测头设计方案,构建的测试样机实现了有效工作距离大于50 cm、光斑直径小于6.5mm和光谱范围涵盖280～825 nm等性能.实验研究了超高真空环境Cu(110)样品在退火处理中的RDS,仪器详细记录了信号随温度的演变过程,测量精度优于3×10-4,表明新方案满足真空环境下表面高灵敏光学测试的需求.

关键词：反射差分光谱(RDS)技术、表面光学表征、真空在线测量、离轴抛物(OAP)反射镜

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分类号：TH744.2;O433.1(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金61008028;全国博士学位论文作者专项资金201140;天津市应用基础及前沿技术研究计划11JCJBJC25700

在线出版日期：2013-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1960-1966