双激光位移传感器组合测头的光轴共线调校法

摘要：

针对大型工件内尺寸高精度在机测量难题,介绍了一种双激光位移传感器组合定值比较测头,其功能可类比一把非接触式“内径千分尺”,能实现快速、无损、高精度和自动化测量.测头在使用前,需保持两束激光的光轴重合,而分立的激光束是否满足这种位姿关系一般难以确定.针对此问题,分析了光轴位姿误差对检测精度的影响,给出了允差值,提出了一种激光光轴共线性测量、调整方法.分别利用已调校和未调校的测头对标准量块进行测量,证明了调校方案切实可行.

关键词：位姿调校、激光光轴、激光位移传感器、内尺寸测量

所属期刊栏目：24

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家科技重大专项项目2009ZX04014-092;高等学校博士学科点专项科研基金20090032110048

在线出版日期：2013-08-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1363-1369