ZnO多晶薄膜绒面结构及陷光特性分析

摘要：

针对当前薄膜太阳电池对光管理的迫切需求,采用磁控溅射及后腐蚀技术制备获得了高性能绒面铝掺杂氧化锌(AZO,ZnO:Al)前电极.深入分析了ZnO多晶薄膜厚度及腐蚀时间对绒面结构及陷光特性的影响.研究结果表明,随多晶薄膜厚度的增加,晶粒尺寸增大,腐蚀后获得的弹坑状表面结构的粒径亦随之增大,绒度增大;随后腐蚀时间的增加,弹坑状粒径及绒度均具有先增大而后趋于饱和的趋势.当沉积ZnO多晶薄膜初始厚达2μm时,获得的薄膜电阻率小于3×10-4 Ω·cm,经180 s稀HCl(0.5％)腐蚀后,绒面ZnO的均方根粗糙度(RMS)达143 nm,400～1 100 nm平均透过率达81.4％,在500 nm处绒度为84.3％,750 nm处绒度可达73.8％,方块电阻小于5 Ω/□,满足了硅基薄膜叠层电池对前电极的光电性能需求.

关键词：绒面掺铝氧化锌(AZO)、绒度、散射特性、薄膜厚度、湿法刻蚀

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分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划2011CBA00706;国家高技术研究发展计划2011AA050503;教育部重点实验室开放基金2011KFKT06;中央高校基本科研业务费专项资金65011981

在线出版日期：2013-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：523-529