大面积ZnO∶Al窗口层的制备与研究

摘要：

采用磁控溅射方法,制备了大面积(300 mm×300 mm) ZnO∶Al薄膜作为CIGS太阳电池的窗口层.设计以电阻率和透过率测试值的标准差乘积作为衡量大面积低阻ZnO窗口层的均匀性标准,确定4 mm/s作为衬底与靶材最合适的相对行走速度,并进一步研究工作气压和溅射功率对ZnO∶Al薄膜结构、电学特性和光学特性的影响,实现在400～1200 nm波长范围内平均透过率大于85％,电阻率ρ约1.0×10-3 Ω·cm.试验结果表明,改善的工艺条件能得到大面积内厚度均匀、光电特性良好的低阻ZnO窗口层.

关键词：磁控溅射、CIGS薄膜太阳电池、大面积ZnO∶ Al窗口层

所属期刊栏目：24

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划2012AA050701

在线出版日期：2013-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：99-103