不同基底上银薄膜的光电学性质研究
用热蒸发的方法,分别在孔径约为200 nm的多孔阳极氧化铝(AAO)模板和空白石英基片上室温沉积厚为25~200 nm的Ag薄膜样品,研究膜厚对两种样品的微观结构和光电学性质的影响.微观结构利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)观测,光电学性质应用分光光度计及Van der Pauw方法检测.结果表明,石英基片上Ag(QuartzAg)薄膜的结晶性能比AAO模板上Ag(AAOAg)薄膜的结晶性能好,当厚为200 nm时,AAOAg薄膜形成纳米颗粒的叠层结构;AAOAg薄膜的全反射率和QuartzAg薄膜的反射率均遵循随膜厚增加而增加的规律.在同一厚度和同一波长条件下,AAOAg薄膜的光学反射率比QuartzAg薄膜小很多,当厚为109 nm时,在可见光和红外光区域,QuartzAg薄膜的反射率超过95%,而AAOAg薄膜的全反射率为40%;QuartzAg薄膜在厚度为25 nm时已导电,而AAOAg薄膜的厚度为37 nm时才开始导电.对于同一厚度,AAOAg薄膜的方块电阻比QuartzAg薄膜的大,随着膜厚的增加,它们的差值从厚为37 nm时的4.90 Ω/口逐渐减小到厚为200 nm时的0.37 Ω/口.
AAO模板、石英基片、Ag薄膜、热蒸发、光电学性质
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O484.4(固体物理学)
国家自然科学基金11074041;福建省自然科学基金2012J01256;宁德师范学院"服务海西建设"2010H301、2011H208
2013-07-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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