基于频域变换的两平晶互检求解算法

摘要：

提出了一种平面绝对检验的频域面形恢复算法。算法基于两平晶互检方法，对其中一个被测面增加不同旋转角度的测量。通过频域求解算法，可以恢复出被测面的三维绝对面形分布。该数值处理重建算法利用快速傅里叶变换（FFT）和线性滤波处理测量数据。将本文算法结果同传统Zernike多项式拟合算法结果进行了对比，结果吻合较好。3个面的最大PV（peaktovalley）值偏差为0．027A，最大RMS（rootmeansquare）值偏差为0．003A。实验结果表明，本文算法即使在高空间分辨率的情况下，误差传递也较低，同时计算效率较高。

关键词：光学测量、平面绝对检验、频域算法

所属期刊栏目：23

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2012-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：542-546