激光刻蚀柔性薄膜太阳电池复合背反射层的研究

摘要：

柔性聚酯膜衬底薄膜电池通过激光刻蚀等工艺形成集成串联，激光刻蚀柔性薄膜太阳电池复合背反射层（Ag／ZnO）是其中的重要工艺。首先对聚酰亚胺（PI）、Ag、ZnO材料的光学特性进行了分析，然后采用1064nm脉冲激光与532nm脉冲激光分别对柔性薄膜太阳电池复合背反射层进行刻蚀研究。通过改变重复频率、激光功率、扫描速度和焦点位置等参数，分析了激光刻蚀物理机制，获得了好的刻蚀效果。结果表明，1064nm纳秒脉冲激光更适合刻蚀柔性PI衬底复合背反射层Ag／ZnO，在激光功率860mw、刻蚀速度800mm／s和重复频率50kHz下，获得了底部平整、两侧无尖峰的刻线，刻线宽为32pm，满足柔性薄膜太阳电池集成串联组件的制备工艺要求。

关键词：激光刻蚀、柔性薄膜太阳电池、聚酰亚胺(PI)、Ag/ZnO

所属期刊栏目：23

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：469-472