基于面内补偿的微机电系统离面运动测试

摘要：

将频闪成像技术和相移显微干涉技术相结合，提出了一种基于面内补偿的微机电系统（MEMs）离面运动测试方法。首先通过相移显微干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内不同准静态位置处的数帧相移干涉图像；然后通过图像处理得到每个准静态位置的亮场图像，进行面内位移测试；最后利用面内位移测试结果对离面位移测试进行补偿，即双相位展开算法，完成对于MEMS结构的离面运动测试。实验结果表明：面内运动的测试的精度可达0．01pixel，静态离面高度测试的重复精度可达0．52nm，可以完成伴随着面内位移的MEMS离面位移测试。

关键词：微机电系统(MEMS)、频闪成像、相移显微干涉、双相位展开

所属期刊栏目：23

分类号：TN752;TN603.5(基本电子电路)

资助基金：天津市科技计划;国际科技合作与交流专项;国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2012-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：310-314