基于液态膜的集成电路电光检测技术
利用液态膜作为电场探测的电光材料。液态膜的探测电压灵敏度比Ga舡材料高2个数量级。其原理是,基于液态极性分子的取向极化,液态膜的折射率受电场调制,从而实现电光测量。实验结果表明,在调制电场1kHz频率下测量液态膜电光系数达到95pm/V。利用液态膜对集成电路进行检测具有简单、高效的特点,很好地完成了低频场探测中弱信号的电压测量和波形显示。
电光、集成电路诊断、液态膜、光探头
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TN247(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金;清华信息科学与技术国家实验室筹项目
2012-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
1688-1690