基于液态膜的集成电路电光检测技术

摘要：

利用液态膜作为电场探测的电光材料。液态膜的探测电压灵敏度比Ga舡材料高2个数量级。其原理是，基于液态极性分子的取向极化，液态膜的折射率受电场调制，从而实现电光测量。实验结果表明，在调制电场1kHz频率下测量液态膜电光系数达到95pm／V。利用液态膜对集成电路进行检测具有简单、高效的特点，很好地完成了低频场探测中弱信号的电压测量和波形显示。

关键词：电光、集成电路诊断、液态膜、光探头

所属期刊栏目：22

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;清华信息科学与技术国家实验室筹项目

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1688-1690