梯度掺杂结构GaN光电阴极的激活工艺研究

摘要：

利用自行研制的光电阴极多信息量测试评估系统,在线测试了梯度掺杂结构GaN光电阴极在激活过程中的光电流、Cs源电流和O源电流。根据激活后的阴极光谱响应曲线和量子产额曲线,分析了超高真空室真空度、激活前的阴极表面净化程度、激活中首次进Cs量、激活中的Cs/O比以及Cs/O源在激活中的供给方式等对阴极激活的影响,提出了梯度掺杂结构GaN光电阴极的优化激活工艺。

关键词：梯度掺杂、GaN、光电阴极、激活工艺

所属期刊栏目：22

分类号：TN204(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60871012

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1317-1321