反射式超精密定位智能控制系统的研究

摘要：

设计了一种基于反射激光莫尔信号的超精密定位装置，系统取反射的0次激光莫尔信号为控制信号，可实现高精度位置检测及超精密自动定位。针对反射式精密定位系统存在非线性，采用基于模糊神经网络的精密定位PID控制方法，利用模糊控制的模糊推理能力与神经网络的自学习能力，将模糊控制与RBF神经网络相结合在线（online）调整HD控制参数，实现精密定位HD控制的自适应和智能化。实验结果表明，使用基于模糊神经网络的PID控制，控制响应快、稳定性好和鲁棒性强，可有效提高定位精度及定位速度，系统可获得士0．4μm的定位精度。

关键词：精密定位、反射莫尔信号、模糊神经网络、PID控制

所属期刊栏目：22

分类号：TP274.5(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）;江苏省自然科学基金

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1203-1206