低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究

摘要：

基于微机电系统（MEMS）技术,研制了一种新颖的光学腔与静电驱动器分离的Fabry-Pérot（F-P）可调谐滤波器。从光学设计、MEMS结构设计、制造工艺与器件测试等开展了F-P可调谐滤波器的研究,成功制备了工作在以1550 nm波长为中心、调谐范围为40 nm和驱动电压低于30 V的MEMS F-P可调滤波器。测试结果表明,其3 dB带宽为0.5 nm,单模光纤准直器封装的插入损耗低于8 dB,为研制实用的F-P可调滤波器奠定了良好的实验基础。

关键词：微机电系统(MEMS)、Fabry-Pérot(F-P)腔、可调光滤波器、静电驱动

所属期刊栏目：22

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）;国家自然科学基金

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：965-971